تحلیلگر طیفسنجی فروسرخ تبدیل فوریه (FTIR) در صنعت تولید نیمهرساناها استفاده میشود FTIR یک ابزار تحلیل طیفی است که از طیفسنجی مادون قرمز برای تجزیه و تحلیل غلظت ناخالصی از طریق تبدیل فوریه استفاده میکند. طیف سنج عمدتاً از یک منبع نور (میله کربن سیلیکونی، لامپ جیوه پرفشار)، تداخل سنج مایکلسون، آشکارساز و تداخل سنج تشکیل شده است.
نور مادون قرمز ساطع شده توسط منبع نور مادون قرمز S به یک پرتو مادون قرمز موازی همسو می شود و وارد سیستم تداخل می شود. پس از تنظیم توسط تداخل سنج، یک پرتو از نور تداخل به دست می آید. نور تداخل از نمونه Sa عبور می کند تا سیگنال تداخلی حاوی اطلاعات طیفی را به دست آورد، که به آشکارساز D می رسد و سپس توسط D به سیگنال الکتریکی تبدیل می شود. سیگنال تداخل در اینجا یک تابع زمان است، که الگوی تداخلی است که توسط سیگنال تداخل ترسیم می شود. و محور افقی آن زمان یا فاصله حرکت آینه متحرک است. این الگوی تداخل از طریق یک مبدل A/D به کامپیوتر فرستاده می شود و کامپیوتر محاسبات تبدیل فوریه سریع را انجام می دهد تا یک طیف مادون قرمز با عدد موج به عنوان محور افقی به دست آید. سپس از طریق یک مبدل D/A به یک پلاتر فرستاده می شود تا یک طیف جذبی مادون قرمز بسیار آشنا را ترسیم کند.
